硼化物陶瓷濺射靶材
硼化二鉻Cr2B,硼化鉻CrB,二硼化鉻CrB2,三硼化五鉻Cr5B3,硼化鐵FeB,二硼化鉿HfB2,六硼化鑭陶LaB6,硼化二鉬Mo2B,五硼化二鉬Mo2B5,硼化鈮NbB,二硼化鈮NbB2,硼化鉭TaB,二硼化鉭TaB2,二硼化鈦TiB2,硼化二鎢W2B,硼化鎢WB,硼化釩VB,二硼化釩VB2,二硼化鋯ZrB2
碳化物陶瓷濺射靶材
碳化四硼B(yǎng)4C,二碳化三鉻Cr3C2,碳化鉿HfC,碳化二鉬Mo2C,碳化鈮NbC,碳化硅SiC,碳化鉭TaC,碳化鈦TiC,碳化鎢WC,碳化二鎢W2C,碳化釩VC,碳化鋯ZrC
氟化物陶瓷濺射靶材
氟化鋁AlF3,氟化鋇BaF3,氟化鎘CdF2,氟化鈣CaF2,氟化鈰CeF3,氟化鏑DyF3,氟化鉺ErF3,氟化鉿HfF4,氟化鉀KF,氟化鑭LaF3,氟化鉛PbF2,氟化鋰LiF,氟化鐠PrF3,氟化鎂陶MgF2,氟化釹NdF3,氟化釤SmF3,氟化鈉NaF,鋁氟酸鈉冰晶石靶材Na3AlF6,氟化鍶SrF2,氟化釔YF3,氟化鐿YbF3
氮化物陶瓷濺射靶材
氮化鋁AlN,氮化硼B(yǎng)N,氮化鎵GaN,氮化鉿HfN,氮化鈮NbN,氮化硅Si3N4,氮化鉭TaN,氮化鈦TiN,氮化釩VN,氮化鋯ZrN
氧化物陶瓷濺射靶材
氧化鋁Al2O3,氧化銻Sb2O3,氧化銻摻錫ATO,鈦酸鋇BaTiO3,氧化鉍Bi2O3,氧化鈰CeO2,氧化銅CuO,氧化鉻Cr2O3,氧化鏑Dy2O3,氧化鉺Er2O3,氧化鉺Eu2O3,氧化釓Gd2O3,氧化鎵Ga2O3,氧化鍺GeO2,二氧化鉿HfO2,氧化鈥Ho2O3,氧化銦In2O3,氧化銦錫ITO,三氧化二鐵Fe2O3,四氧化三鐵Fe3O4,氧化鑭La2O3,鈦酸鉛PbTiO3,鋯酸鉛PbZrO3,鈮酸鋰靶材LiNbO3,鐵酸镥Lu3Fe5O12,氧化镥Lu2O3,氧化鎂MgO,氧化鉬MoO3,氧化釹Nd2O3,氧化鐠Pr6O11,鈦酸鐠PrTiO22,氧化鐠Pr2O3,氧化釤Sm2O3,氧化鈧Sc2O3,二氧化硅靶材SiO2,一氧化硅SiO,鈦酸鍶SrTiO3,鋯酸鍶SrZrO3,五氧化二鉭Ta2O5,氧化鋱Tb4O7,氧化碲TeO2,氧化釷ThO2,氧化銩Tm2O3,二氧化鈦瓷靶材TiO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,三氧化二鈦Ti2O3,二氧化錫SnO2,一氧化錫SnO,三氧化鎢WO3,五氧化二釩陶瓷靶V2O5,釔鋁石榴石YAGY3Al5O12,三氧化二鐿Yb2O3,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO,摻鋁氧化鋅ZnO:Al,氧化鋯ZrO2未摻雜,氧化鈣穩(wěn)定氧化鋯ZrO2-5-15wt%CaO,氧化釔穩(wěn)定氧化鋯ZrO2:Y2O3
硒化物陶瓷濺射靶材
硒化鉍Bi2Se3,硒化鎘CdSe,硒化銦In2Se3,硒化鉛PbSe,硒化鉬MoSe2,硒化鈮NbSe2,硒化鉭TaSe2,硒化鎢WSe2,硒化鋅ZnSe
硅化物陶瓷濺射靶材
硅化三鉻Cr3Si,二硅化鉻CrSi2,二硅化鈷CoSi2,二硅化鉿HfSi2,二硅化鉬MoSi2,二硅化鈮NbSi2,二硅化鉭TaSi2,三硅化五鉭Ta5Si3,二硅化鈦TiSi2,三硅化五鈦Ti5Si3,二硅化鎢WSi2,硅化三釩V3Si,二硅化釩VSi2,二硅化鋯ZrSi2
硫化物陶瓷濺射靶材
硫化銻Sb2S3,硫化砷As2S3,硫化鎘CdS,硫化鐵FeS,硫化鉛PbS,硫化鉬MoS2,硫化鈮NbS1.75,硫化鉭TaS2,硫化鎢WS2,硫化鋅ZnS,
碲化物陶瓷濺射靶材
碲化鎘CdTe,碲化鉛PbTe,碲化鉬MoTe2,碲化鈮NbTe2,碲化鉭TaTe2,碲化鎢WTe2,碲化鋅ZnTe,碲化銦InTe
其他
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